测量超导薄膜表面电阻的方法及其装置

南开大学的阎少林、张旭和冯洪辉，于2004年5月在中国专利局申请了该专利，并于2005年2月公开发表。

    本发明涉及一种测量表面电阻的方法及其装置，用于检测金属材料、超导薄膜材料、尤其是用于检测高温超导薄膜材料的表面电阻的方法及测量装置，属于电子技术领域。它采用了一端短路而另一端处于开放状态的介质加载谐振器。通过分别对两个材料相同、长度一样、直径不等的介质圆柱组成的微波介质加载谐振腔的测量，可以确定除测试样品以外其它损耗所对应的系统品质因数值Qr，进而对被测样品进行测量，可得到被测样品的表面电阻Rs。测量过程简单、快捷、测试结果精度高，解决了以往测量表面电阻的局限性，如测量样品被破坏，或测量中需要多片样品，或测量中需要依赖校准件。实现了非损伤性单片超导薄膜表面电阻的绝对测量。

南开大学的阎少林、张旭和冯洪辉，于2004年5月在中国专利局申请了该专利，并于2005年2月公开发表。

    本发明涉及一种测量表面电阻的方法及其装置，用于检测金属材料、超导薄膜材料、尤其是用于检测高温超导薄膜材料的表面电阻的方法及测量装置，属于电子技术领域。它采用了一端短路而另一端处于开放状态的介质加载谐振器。通过分别对两个材料相同、长度一样、直径不等的介质圆柱组成的微波介质加载谐振腔的测量，可以确定除测试样品以外其它损耗所对应的系统品质因数值Qr，进而对被测样品进行测量，可得到被测样品的表面电阻Rs。测量过程简单、快捷、测试结果精度高，解决了以往测量表面电阻的局限性，如测量样品被破坏，或测量中需要多片样品，或测量中需要依赖校准件。实现了非损伤性单片超导薄膜表面电阻的绝对测量。